电子束加工是在真空条件下,利用电流加热阴极发射电子束,带负电荷的电子束高速飞向阳极,途中经加速极加速,并通过电磁透镜聚焦,使能量密度非常集中,可以把一千瓦或更高的功率集中到直径为5~10μm的斑点上,获得高达109W/cm2左右的功率密度,如图所示。如此高的功率密度,可使任何材料被冲击部分的温度,在百万分之一秒时间内升高到摄氏几千度以上,热量还来不及向周围扩散,就已把局部材料瞬时熔化、气化直到蒸发去除。随着孔不断变深,电子束照射点亦越深入。由于孔的内侧壁对电子束产生"壁聚焦",所以加工点可能到达很深的深度,从而可打出很细很深的微孔。
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GMT+8, 2021-12-6 21:19